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产品描述
参数
产品简介: 质量流量控制器(mfc)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
质量流量控制器(mfc)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
主要特点:
高性能价格比、普通型产品
橡胶密封、模拟电路的mfc
7a型的更新换代型
管状分流,使用寿命长
满量程流量范围(n2) | 5sccm~10slm | |
控制范围 | 2~100%f.s. | |
阀类型(及阀初始状态) | 电磁调节阀(常闭) | |
准确度 | ±1.5%f.s. | |
线性 | ±0.5~1.5%f.s. | |
重复精度 | ±0.2%f.s. | |
响应时间 | 电特性: 10 sec 气特性: ≤ 4 sec |
|
工作温度范围 | 5~45℃ | |
工作压差 | 0.1~0.5mpa | |
耐压 | 3mpa | |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec he | |
通道湿材料 | 316l不锈钢、密封材料 | |
静密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶) | |
动密封材料 | 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯) | |
接头选择 | vcr | 1/4” |
双卡套 | 1/8”、1/4”或φ6、φ3 | |
重量 | 1.1kg |
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d07-7c 气体质量流量控制器
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